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专家委员会
姓名:
张永亮
单位职务:
深圳市大族半导体装备科技有限公司技术总监
委员
研究方向
半导体装备激光光源与加工技术
专家简介
单位职务:大族半导体 总监,高级工程师
长期致力于超快激光器与半导体装备加工激光光源及加工技术的研发与产业化。
研究成果
研制并销售半导体加工激光光源系统逾千台套,获得专利二十余项,发表学术论文十余篇。
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